SEMI F47 評価と試験
SEMI F47 装置の試験と認証
SEMI F47は電圧降下時の半導体製造装置の性能に関する要求事項です。NSSは最先端の試験設備を使ってSEMI F47の要求事項に沿った試験を行っています。 弊社では、装置の性能を評価し、SEMI F47の要求事項に適合した上で試験レポート、並びにCoC (Certificate of Conformity)を発行いたします。
NSSでは、万が一、お客様の装置がSEMI F47の試験に合格しなかった場合、トラブルシューティング及びコンサルティングもいたしております。
SEMI F47 コンポーネントの試験と認証
SEMI F47に適合した装置を生産するには、装置内部で使用するコンポーネントがF47の規格に沿ったものでなければいけません。 NSSでは半導体製造装置メーカーにコンポーネント(モータードライバーなど)を収めているメーカーの製品に対しても単独試験を行っています。
弊社のサービスはサードパーティー試験を行い適合レポートとCoC (Certificate of Conformity)の発行をいたします。 これにより装置内で使用するコンポーネントもF47の要求事項を満たしている事が証明されます。