株式会社エヌ・エス・エス　産業機器安全審査及びコンサルティング、安全評価試験、マニュアル作成、技術翻訳、危険警告ラベル販売

半 導体工場ではそのワークエリアに装置から有害な化学物質が放出されないよう排気で制御しています。SEMI F15及びSEMI S6は「半導体製造装置の排気・換気に関する環境、健康、安全のためのガイドライン」です。トレーサーガス試験は装置の排気システムがどの程度有効である かを査定する時に行う試験です。また、有害物質が使用されている装置では、SEMI S2の規格に従って、通常運転時とメンテナンス作業中の被爆量及び有害物質の装置外における濃度を測る必要があります。これが環境濃度測定試験です。
NSSでは装置の排気システムの最適化、及び作業環境濃度の最適化のために必要なトレーサーガス試験、環境濃度測定試験のサービスを提供しています。

一 般的に装置で使われる機器、主要パーツ、素材は国際規格に適合したものでなければなりません。ＮＳＳでは非認定品に対して、安全、性能、及び信頼性を実証 する各種試験を国際規格に基づき弊社のラボ、またはお客様の工場にて行っております。ＮＳＳのラボはISO/IEC 17025, “General Requirements for the Competence of Testing and Calibration Laboratories”「試験所及び校正機関の能力に関する一般要求事項」に適合しております。必要に応じて適合証明書も発行いたします。

ア メリカ合衆国で使われるレーザー製品はOSHA “21 CFR 1040.10, Laser Products”の要求事項に適合していなければなりません。さらに、レーザーを使用した装置はアメリカ合衆国のFDA “Food and Drug Administration”「食品医薬品局」に登録されていなければならず、安全面の要求事項にも適合が必要です。
NSSではレーザーが使用されているお客様の装置に対する技術評価レポートの作成（Product Report）とアメリカ合衆国のFDA “Food and Drug Administration”「食品医薬品局」への申請・登録代行のサービスを提供しております。